欢迎访问深圳市科林美净化工程有限公司 深圳市科林行净化科技有限公司官网,我们将竭诚为您服务!
加入收藏在线留言联系我们
热门搜索:深圳洁净棚厂家,深圳洁净棚,洁净棚生产厂家,深圳无尘车间,无尘车间施工,深圳净化车间施工,深圳净化工程,无尘车间净化工程,深圳净化工程公司,洁净室工程施工
产品中心
PRODUCT

深圳市科林美净化工程有限公司
深圳市科林行净化科技有限公司

 

全国24h服务热线:4009616918
总经理:黄先生
联系电话:135-0960-0898

 

设计部:颜工
联系电话:188-2428-2086

 

净化设备销售推广部:刘先生
联系电话:137-1489-7370

 

净化耗材销售推广部:杨先生
联系电话:150-1360-2580

 

地址:深圳市宝安区沙井街道新桥社区新发东路13号

万人堂心水论坛 > 新闻资讯 > 公司新闻洁净室工程中的温湿度控制

洁净室工程中的温湿度控制


发布时间:2018-06-05 11:05:03 | 信息来源:深圳市科林美净化工程有限公司 深圳市科林行净化科技有限公司

万人堂心水论坛 www.gy8gr.cn 万人堂心水论坛中的温湿度控制
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。

例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。

此外,万人堂心水论坛湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产最佳湿度范围为35—45%。

[返回栏目首页]
深圳市科林美净化工程有限公司 深圳市科林行净化科技有限公司 版权所有@ Copyright粤ICP备15104270号-1
服务电话:400-9616-918 手机:135-0960-0898 137-1489-7370 邮箱:[email protected]
*本网站中所涉及的图片、文字等资料均属于 深圳市科林美净化工程有限公司 深圳市科林行净化科技有限公司 所有,未经许可不得转载*
技术支持:企创云
  • 佩雷拉:埃尔克森胡尔克还在治疗 明天会有想要的结果 2019-02-09
  • 红豆杉真的能抗癌吗?误食小心中毒 2019-02-09
  • 中国社会科学院在京召开研讨会 探讨“三大史诗”在新时代的传承与发展 2019-02-07
  • 中心城区核心片组完成签约清零任务 2019-01-29
  • V社:Steam中国不锁区 但游戏上线需通过审核 2019-01-29
  • 【北京盈之宝车型报价】北京盈之宝4S店车型价格 2019-01-22
  • 老爸偷偷送女保姆金项链引子女众怒!真相让人沉默 2019-01-22
  • 移植2胚怀5胎 一针减3化风险 十堰市人民医院再创生命奇迹 2018-11-28
  • 开奖时刻 5箱可乐免费送出 今日活动持续进行开奖时刻-等级 2018-10-17
  • 从蔡徐坤到王菊到韩宇,他们火爆的背后只有一个真理 2018-08-13
  • 图解:建军90周年阅兵最受瞩目的十大武器装备 2018-08-13
  • 警民接力救助受伤红隼 经过一周治疗现已放归自然 2018-08-12
  • 新余市二单位6名领导干部被纪委通报 2018-08-12
  • 段家寨岔上村党支部主题党日助脱贫 2018-08-11
  • 想家了!红红火火迎新年 青城呼和浩特年味十足 2018-08-10
  • 118| 42| 878| 303| 971| 798| 789| 305| 885| 573|